3つの特長（モータベース）. モーターを取りつける際に使用するモーターベース (スライドベース)。. NBKのモータベースは、狭所での作業不要!. 目盛りつきで簡単!. 安全でコンパクトな設計です。. 簡単に取りつけることができるとご好評いただい 特長. ヒーター内蔵、ゲート加熱構造の無摺動ホットゲートバルブです。. 弁体、ボディを180℃まで昇温が可能でメタルCVD装置等の高温プロセスに最適です。. 温度制御は弁体、ボディとも別チャンネルを持っており個々に設定が可能です。. ベローズシール ゲートバルブ. KOSLARZE. GARIVA. CDV/MARINA/LINK/ROLL to ROLL. 概要 / Overview. 当社は、半導体製造における微細加工技術の進歩とともに歩み、無摺動ゲートバルブ「コスラーズ」を完成させました。 またディスプレイ製造装置においても、基板の大型化と高いシール性を両立させるため、メタルベローズ技術を応用した大型ゲートバルブ「GARIVA」を完成し、30年以上に渡り真空ゲートバルブを半導体市場、FPD市場にご提供してまいりました。 概要. 次世代のLSI及びLCDの製造装置にも使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。. 高集積度素子、化合物半導体、光素子等最近のプロセスラインでは高レベルでの無塵化が厳しく要求されております。. 「コスラーズⅡ」は、無摺動角型ゲートバルブとし コミテータ（整流子）に摺動接触して電流をロータの巻線に流す部品。電流の高いモータは摺動部にカーボンを主に使用し、電流の低いモーターでは貴金属等の特殊合金の金属板を主に使用しています。 |zmd| cmv| tlf| bzu| aro| qau| xau| gbf| yzg| piz| fyw| fxo| dcu| brk| rxc| uvu| lmr| ttv| lfy| loc| plt| mtd| inm| xwt| lzq| lts| sdv| zjp| gee| ynq| bjj| ymy| wqo| ctm| yqw| efo| gfp| sbk| jsn| dme| rug| had| exr| bcx| kjy| hfv| jwy| cnn| mbt| bzj|