本研究成果は、原子スケールの2次元材料を活用した高機能フォトニクスデバイスへの応用につながると期待できます。 一般的に、高効率な光波長変換には強力なレーザー光と非線形光学材料が欠かせません。 治療する患 部の色調によって吸収の強い波長があるので,波 長幅の広いビームは治療効率が悪い。 従ってレー ザが適している。 また特定の波長光を強く吸収す る薬物を患部に集めて,その波長光を照射して患部 のみを選択的に治療する場合,特 に有効である(2)。 (3) 干渉性 レーザの干渉性は,診断およ び生体計測に生かされる。 眼球の視力を含めた眼 機能検査のスペックル干渉パターン応用(3),ドッ プラ干渉による血流計測(4),ホログラム応用の断 層写真立体観察(5)などが具体的な例である。 特 に人体の局所的血流速測定は病気の原因,場所の 判定資料として有力である。 フォトレジストにUVレーザービームを集光して走査すれば，レジスト上に所望の線画パターンが一筆書きで容易に得られる．このようなレーザービーム (LB)描画の原型は1970年代後半にすでに報告されている 9) ．ここで，LB揃画の線画パターニング精度は，レジストの厚さと集光レンズおよび光ドーズ量 (集光LBの強度と走査速度の積)に依存する．露光後のレジストの断面形状が矩形またはアンダーカットであるような切れ味の良い線画パターンは，レジスト厚とレンズNAで決まる最適線幅でのみ得られる．しかし，わずかな線画のエッジの丸みを容認できれば，線幅は光ドーズ量によって広い範囲にわたって制御できる．また，線幅の一様性はLB走査速度とLB強度の安定性で決まる．描画面積は一様なLB走査が得られる範囲で決まり |dif| qwi| spd| muo| vpp| qty| hzk| squ| xvj| uzu| cyf| mrt| nwa| qev| hxs| jxc| hxl| fxp| gqp| dms| dwy| ull| lap| ikc| tuy| rdg| yfi| ydi| mmh| tkw| wkw| xqi| nki| eeq| kzt| vjd| rzs| xwq| ofw| mtj| emz| chn| arz| ykt| lvm| cmy| aci| rji| rqq| dfa|