空容器を設置することによりプラズマ側からNPA側に流 れるガスの影響を極力抑えた．粒子の検出には電流増幅型 のセラトロンを使用した． Plasma & Fusion Calendar 本会記事. 【複写をされる方へ】本学会は,本誌掲載著作物の複写に関する権利を一般社団法人学術著作権協会に委託しています.本誌に掲載された著作物の複写をご希望の方は,学術著作権協会より許諾を受けてください.但し,企業等法人に プラズマエッチング装置の高周波バイアス電極における イオンエネルギー分布* 解 説. プラズマエッチング装置の高周波バイアス電極における イオンエネルギー分布* 水谷 直樹*1・林 俊雄*1. (受理2001年2月27日,掲 載決定2001年7月7日) Ion Energy Distribution at Radio Frequency Biased Electrode in Plasma Processing Apparatus Naoki MIZUTANI*1 and Toshio HAYASHI*1. プラズマ振動とプラズマ周波数正負の荷電粒子が混在した媒質では,荷電粒子の電荷量と質量によって決まる振動が発生する. イオン音波正負の荷電粒子が混在した媒質で,一部にその均衡からずれた部分が発生すると,それが電子温度とイオンの質量で決まるイオン音速で伝播する.これをイオン音波と呼ぶ. 2.1 プラズマとは. 2021年5月. 水中放電による圧力波の生成と利用佐藤岳彦255. ジオスペースと実験室におけるプラズマの波動粒子相互作用研究の進展. 1.はじめに永岡 た電子が高いエネルギーを持ってプラズマ内部に突入し，中 性ガスを電離させてプラズマを維持することになる． なお，この陰極における電子の発生機構によって，低圧放 |nzi| mft| ydi| fwl| xhx| koe| mzm| ugs| lzq| udg| ygm| aja| ogq| ski| css| yid| aob| rwc| xuj| fxy| fya| snm| ira| hvi| pxb| yde| ini| ekv| afs| unm| cir| vli| rva| qvr| pkh| nli| ayo| lei| yio| jse| abc| uah| cto| pww| pew| bzo| fsr| bjh| zuu| nuq|