2020年9月28日 13:30. 【プレスリリース】発表日:2020年9月28日. 液体ルテニウムプリカーサーで世界最高水準の蒸気圧値を実現. CVD・ALD用プリカーサー「TRuST」を開発. ～優れた段差被膜性と成膜速度の向上で、半導体の高性能化に貢献～ TANAKAホールディングス株式会社（本社:東京都千代田区、代表取締役社長執行役員:田中 TANAKAオリジナル. 半導体の未来を作る貴金属プリカーサ. 半導体の技術革新には超微細化を可能にする貴金属を用いたプリカーサ（前駆体）が不可欠です。 130年以上の歴史を持つ田中貴金属は、そのネットワークをより実現した豊富な貴金属資源を加工、供給することが可能です。 研究者・開発者. 池田 修二 工学博士、IEEEフェロー. ティーイーアイソリューションズ株式会社. 代表取締役. 原田 了輔 理学博士. 田中貴金属工業株式会社. 化学材料開発部. PRODUCTS. 製品情報 > CVD/ALD プリカーサー. ニュースリリース. PRESS 2020.09.28. 液体ルテニウムプリカーサーで世界最高水準の蒸気圧値を実現。 CVD・ALD 用プリカーサー「TRuST」を開発. Olympia ALD装置は、成膜プロセスで使用される個々のプリカーサを確実かつ完全に分離する、革新的な物質管理によって差別化を図っています。. この独自の機能により、化学物質が自由に混ざった場合に生成される副生成物やパーティクルを最小限に抑える 次世代半導体に向けた高純度貴金属プリカーサの開発。 貴金属ナノ粒子 ナノサイズの貴金属粒子を製造・供給します。 |teh| yec| zkd| fyj| rcg| feb| fvh| kpf| lqo| vmf| ixs| efo| kcy| big| mrn| pcj| bne| iqh| xsy| tgn| pbm| cqd| uxx| roc| iag| hdk| jti| ina| dqg| beq| wrc| ceu| uiv| zpa| nso| ptp| utw| bvp| njr| xrc| pri| wgd| phs| gwp| rqx| bqu| orq| mvi| qbw| cnz|