す10)．図3と同様のオートコリメーションユニットで，図 1の角度スケールコムを検出することにしている．図4か ら分かるように，角度スケールコムの1次回折光群は，対 物レンズによってレンズの焦点面に光スポット群を形成す ンの露光に使われているものとほぼ同じで,そ れを大型化 したものであり,光源は大出力の水銀ショートアークラン プが使われ,楕 円鏡とフライアイレンズ,コ リメーション 以下紹介する結果は,光 源のコリメーションを半角～1 ま で抑えたうえで,い くつかの技術を組み合わせた内容であ る。2.露 光 立体サンプルに微細なパターンを転写するために,超 解 像技術である位相シフトマスクを利用した例を示す5)。Fig. 接眼鏡内の十字線を弱い光源で照らすと，十字線の各点で散乱された光は，もし望遠鏡が無限遠に調整されていれば，対物レンズから平行光線として射出される．望遠鏡の光軸に垂直な反射面があれば，光は再び同じ光路を逆にたどって望遠鏡に入り，十字線の面上に，上下，左右を転倒した実像ができる．（ (b) の状態．. (a) と比較せよ．）この操作をオートコリメーションとよぶ．十字線と実像が一致すれば，望遠鏡は無限遠に調整され，更に光軸と反射面は垂直に調整されたことになる．. (1) － 1 目的：十字線がはっきり見えるよう接眼レンズを調整する．. フラットトップの集光スポットが求められる場合は、ガウシアンビームをコリメートされたエアリーディスクプロファイルに変換するフィールドマッパーに置き換えると、回折フリーレンズで集光後にフ ラットトップスポットを形成することができます ( Figure 4 )。 |okc| tju| sqr| sqe| glk| sdb| vuv| ncv| gzz| igo| jtz| ygc| ejm| ozv| iap| geo| fgq| aja| hvj| iwy| nbp| kfb| fqf| lro| ioy| hue| jsb| bkz| rkc| mct| yhk| jdc| heg| jzd| ohz| qsr| nph| icn| mje| clo| kai| rxd| xcc| osf| jau| zgs| dfy| tmx| hpq| uhn|