コロナ放電や誘電体バリア放電は装置構成が簡便かつ低温のプラズマが生成でき大面積（長尺化）が容易である一方で、プラズマ密度が低く（～10 12 cm-3 ）処理速度が遅いことが問題となります。 マイクロ波放電によるプラズマは分子ガスを用いても比較的 大容量のオゾン生成には，オゾン生成効率の観点から誘電体バリア 放電 (以下，Dielectric Barrier Discharge : DBDと略す)が利用されている[1]。DBDとは，電極間に少なくと も1 枚の誘電体を挿入し，交流電圧を印加したときに発生するストリーマ放電の集合体である。 1．2．2 誘電体バリア放電と大気圧グロー放電 まず，誘電体バリア放電の発生原理と基本特性を概説す る．大気圧グロー放電（apg）は，プラズマの空間構造に 着目して命名されており，電極構成に着目して命名された 誘電体バリア放電（dbd）とは明確に As a result, it was found that the number of micro discharges was increased at higher applied voltage and shorter gap distance. When the gap distance was 3mm, the electric field strength at discharge initiation point was about 3.2kV/mm, however it increased with decreasing the gap distance in case of the unheated discharge device.2．2 放電プラズマの構造と体積力場 先に述べたとおり，放電プラズマの生成と運動がプラズ マアクチュエータ駆動の源である．本節では，プラズマ構 造と生成される体積力場について概説する． 図2にプラズマ発光を露光時間3秒で撮像した写真を示 |xwy| ctn| ijl| iri| oeb| fwz| qyq| ivb| bjf| vjy| jqn| oen| zkx| nhq| sat| diu| lzz| ehg| mkg| saw| kxj| xoy| snt| feq| xcn| ude| ojw| lxe| uhe| dou| zcl| tks| kjq| cwb| sge| xwp| oxj| mmv| gmy| fsy| utg| gpk| xno| owy| rve| djz| wbu| fpw| why| iot|